[发明专利]沉积装置

摘要

本发明公开了一种沉积装置，该沉积装置设置有与在其上沉积薄膜的衬底相对的并能够根据衬底表面而移动的蒸发源，还设置有用于将蒸发材料供给至蒸发源的工具(蒸发材料供给工具)。由移动工具支持蒸发源，该移动工具能够扫描其上沉积薄膜的衬底表面。该蒸发材料供给工具使用下述方法：通过气流供给蒸发材料粉末的方法、将蒸发材料溶解或分散在溶剂中并雾化该材料液体而进行供给的方法、或者以棒状、线状、粉末状以及通过机械机构附着到柔性薄膜的状态供给蒸发材料的方法。

主权项

一种制造发光装置的方法，包括如下步骤：在处理腔中提供蒸发源；将衬底布置在所述处理腔中；以及沉积来自所述蒸发源的材料，以在所述衬底上形成电致发光层，其中，所述蒸发源的相对位置在蒸发所述材料期间相对于所述衬底重复移动，其中，材料供给部分通过材料供给管连接到所述蒸发源，以及其中，所述材料供给管包括硬的狭窄导管，该导管配置成柔软弯曲并且在减压下也不改变所述材料供给管的形状。