[发明专利]检查设备和检查方法有效
申请号: | 201110101486.4 | 申请日: | 2011-04-22 |
公开(公告)号: | CN102261897A | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 大西洋 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 黄小临 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种检查设备,包括:网格图案投影部分,被适配为将网格图案投影到目标上;网格图案移动部分,被适配为移动被投影到目标上的网格图案;成像部分,被适配为对所述目标成像;以及控制部分,被适配为基于所指定的用于检查所述目标的检查区的情况来确定将感兴趣的检查区分类为二维还是三维检查区,用所述成像部分对感兴趣的检查区成像至少一次,并且基于捕获的图像检查二维形状,用所述网格图案投影部分投影网格图案并用所述网格图案移动部分移动所述网格图案被投影到的位置的同时,用所述成像部分对该感兴趣的检查区成像多次,并基于捕获的图像检查三维形状。 | ||
搜索关键词: | 检查 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种检查设备,包括:网格图案投影部分,被适配为将网格图案投影到目标上;网格图案移动部分,被适配为移动被投影到目标上的网格图案;成像部分,被适配为对所述目标成像;以及控制部分,被适配为基于所指定的用于检查所述目标的检查区的情况来确定将感兴趣的检查区分类为二维还是三维检查区,所述控制部分还被适配为如果基于所述确定,感兴趣的检查区已经被分类为二维检查区,则用所述成像部分对感兴趣的检查区成像至少一次,并且基于捕获的图像检查二维形状,所述控制部分还被适配为如果感兴趣的检查区已经被分类为三维检查区,则在用所述网格图案投影部分投影网格图案并用所述网格图案移动部分移动所述网格图案被投影到的位置的同时,用所述成像部分对该感兴趣的检查区成像多次,并基于捕获的图像检查三维形状。
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