[发明专利]一种基于覆铜板的激光辅助选区微去除铜膜方法

摘要

本发明公开了一种基于覆铜板的激光辅助选区微去除铜膜方法，属于微加工领域。包括以下步骤：在覆铜板的铜箔表面上涂一层涂料；用作图软件制作需要的去除图案；将激光器分别与激光运动控制系统和计算机连接，激光参数与激光运动路径通过激光控制软件控制；将有涂层的覆铜板置于加工平台上夹紧，保持覆铜板有涂层的面与激光束焦点同一平面；在激光控制软件中导入要去除的图案，用指示光需去除的位置，调整激光参数，激光束作用在覆铜板上有选择的去除涂层；将扫描后的覆铜板放入刻蚀剂中进行刻蚀；将刻蚀好的样品放入清水中漂洗，将涂料去除。本发明精度高，效率高、可控性好，选区形状可控制，可实现FPC布线、掩膜以及精美工艺品的制造。

主权项

基于覆铜板的激光辅助选区去除铜膜方法，其特征在于，包括如下步骤：1)在覆铜板的铜箔表面上涂一层涂料，并等涂料变干；2)打开计算机，在计算机中用作图软件制作需要的去除图案；3)将激光器分别与激光运动控制系统和计算机通过数据线相连接，激光参数与激光运动路径通过计算机中的激光控制软件进行控制；4)将步骤1)有涂层的覆铜板置于工作台的加工平台上，用夹具夹紧，保持覆铜板有涂层的面与激光束焦点所在平面处于同一平面；5)打开激光器与激光控制软件，在激光控制软件中导入要去除的图案，用指示光将图案定位到需去除的位置，调整激光功率、重复频率、扫描速度、扫描间隔和开光/关光时间，激光控制软件将根据计算机输出的图案信号控制激光进行扫描，激光束作为高能束通过激光运动控制系统作用在覆铜板上进行有选择的去除涂层；6)将激光扫描后的覆铜板放入刻蚀剂中进行刻蚀；7)将刻蚀好的样品放入清水中漂洗，将涂料去除。