[发明专利]一种单面电极多晶硅薄膜太阳能电池及其制法

摘要

本发明公开了一种单面电极多晶硅薄膜太阳能电池及其制作方法，其结构为：以超白玻璃为衬底，其上设一层起阻挡钝化作用的薄膜，薄膜上方设一层多晶硅薄膜，其上设栅状或者梳状PN结，最上方设与PN结形状相适配的引出电极。其制备步骤为：清洁玻璃衬底，依次在其上以真空镀膜方式镀阻挡钝化层薄膜，以液相外延或者真空镀膜方式镀制多晶硅薄膜，然后通过热扩散、离子注入、激光掺杂等方式在多晶硅薄膜上制备栅状或梳状PN结，最后印刷引出电极，经烧结完成工艺。由于PN结呈栅状或者梳状排布，比传统结构有效PN结长度增加，提高了转化效率。同时，多晶硅层容易做得很薄，容易实现大规模生产。

主权项

一种单面电极多晶硅薄膜太阳能电池，包括透明衬底，设于透明衬底一侧的透明导电极，设于透明导电极上的钝化层，其特征在于，结构为：a)所述钝化层上方设一层在其表面进行栅状或者梳状掺杂的多晶硅膜层，以形成多个“n”形PN结进行光电转化效应：b)所述晶硅薄膜表面设置与掺杂形状相适配的第一金属导电极和第二金属导电极，以引出PN结产生的电流。