[发明专利]电气处理装置及方法、以及探测单元无效

专利信息
申请号: 201110082171.X 申请日: 2011-03-25
公开(公告)号: CN102201499A 公开(公告)日: 2011-09-28
发明(设计)人: 宇田隆;日野卓 申请(专利权)人: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
主分类号: H01L31/20 分类号: H01L31/20;H01L31/18;G01R31/02
代理公司: 上海市华诚律师事务所 31210 代理人: 徐申民
地址: 日本国东京都武藏*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种电气处理装置及方法、以及探测单元。本发明涉及一种包含具有吸附水的性质的材料的薄膜太阳能电池的电气处理装置。而且,本发明的电气处理装置包括:薄膜太阳能电池的电气处理所采用的探测单元;和吸引机构,其在采用所述探测单元对所述薄膜太阳能电池进行所述电气处理时,使得所述探测单元与所述薄膜太阳能电池接触并进行处理的处理对象区域减压。这样,可以以较短的时间稳定地进行薄膜太阳能电池的电气处理。
搜索关键词: 电气 处理 装置 方法 以及 探测 单元
【主权项】:
一种电气处理装置,其特征在于,包括:薄膜太阳能电池的电气处理所采用的探测单元;和吸引机构,其在采用所述探测单元对所述薄膜太阳能电池进行所述电气处理时,使得所述探测单元与所述薄膜太阳能电池接触并进行处理的处理对象区域减压。
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