[发明专利]电气处理装置及方法、以及探测单元无效
申请号: | 201110082171.X | 申请日: | 2011-03-25 |
公开(公告)号: | CN102201499A | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 宇田隆;日野卓 | 申请(专利权)人: | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20;H01L31/18;G01R31/02 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 徐申民 |
地址: | 日本国东京都武藏*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种电气处理装置及方法、以及探测单元。本发明涉及一种包含具有吸附水的性质的材料的薄膜太阳能电池的电气处理装置。而且,本发明的电气处理装置包括:薄膜太阳能电池的电气处理所采用的探测单元;和吸引机构,其在采用所述探测单元对所述薄膜太阳能电池进行所述电气处理时,使得所述探测单元与所述薄膜太阳能电池接触并进行处理的处理对象区域减压。这样,可以以较短的时间稳定地进行薄膜太阳能电池的电气处理。 | ||
搜索关键词: | 电气 处理 装置 方法 以及 探测 单元 | ||
【主权项】:
一种电气处理装置,其特征在于,包括:薄膜太阳能电池的电气处理所采用的探测单元;和吸引机构,其在采用所述探测单元对所述薄膜太阳能电池进行所述电气处理时,使得所述探测单元与所述薄膜太阳能电池接触并进行处理的处理对象区域减压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本麦可罗尼克斯股份有限公司,未经日本麦可罗尼克斯股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110082171.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的