[发明专利]压电元件及其制造方法、压电执行元件、液滴喷射头及装置无效
| 申请号： | 201110071551.3 | 申请日： | 2011-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN102214787A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 羽广英树;大桥幸司;中山雅夫 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/053;H01L41/22;B41J2/135;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;王轶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及压电元件及其制造方法、压电执行元件、液滴喷射头及装置。用于实现保护膜与压电体层之间的密接性提高了的压电元件等。本发明涉及的压电元件具备：在基板上形成的第1电极、在上述第1电极上形成的压电体层、在上述压电体层上形成的第2电极、和至少覆盖上述压电体层的侧面的保护膜，上述压电体层的上述侧面具有沿着从上述第2电极朝向上述第1电极的方向延伸的多个槽。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 执行 喷射 装置 | ||
【主权项】：
一种压电元件，其特征在于，包括：在基板上形成的第1电极、在上述第1电极上形成的压电体层、在上述压电体层上形成的第2电极、和至少覆盖上述压电体层的侧面的保护膜，上述压电体层的上述侧面具有沿着从上述第2电极朝向上述第1电极的方向延伸的多个槽。
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