[发明专利]太阳能电池绒面的制备方法

摘要

一种太阳能电池绒面的制备方法，所述太阳能电池绒面形成于太阳能电池硅片的受光面一侧的表面，所述制备方法采用纳米压印的方式，在制绒工艺开始前，将预先制备好的图案模板上的掩模材料以压印的方式转移到太阳能电池硅片表面，形成制绒工艺的掩模层，随后可使用湿法刻蚀或等离子刻蚀的方法进行制绒。本发明的太阳能电池绒面的制备方法这样可以更好的控制绒面的大小和形状，达到优化反射率的效果，最佳的反射率可以达到1％以下。

主权项

一种太阳能电池绒面的制备方法，其特征在于，所述太阳能电池绒面形成于太阳能电池硅片的受光面一侧的表面，所述制备方法包括如下步骤：A、制备用于纳米压印的图案模板，所述图案模板上具有由多个间隔分布的沟槽和突出面所形成的图案；B、对所述太阳能电池硅片进行预清洗和去除损伤层；C、在所述图案模板的所述图案的突出面上形成一层掩膜，然后通过纳米压印技术将所述掩膜压印到所述太阳能电池硅片的受光面一侧的表面上；D、对所述太阳能电池硅片的受光面一侧未覆盖所述掩膜的表面进行蚀刻；E、去除所述掩膜，在所述太阳能电池硅片的受光面一侧的表面形成规则的绒面结构。