[发明专利]压电元件及其制造方法、压电致动器、液滴喷射头及装置有效
| 申请号： | 201110064931.4 | 申请日： | 2011-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102208524A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 大桥幸司;中山雅夫;古谷升 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/047;H01L41/22;B41J2/045;B41J2/135 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;王轶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电元件及其制造方法、压电致动器、液滴喷射头及装置，能够增大电极材料选择的自由度。本发明的压电元件包括：形成在基板上的第一电极；形成在上述第一电极上的压电体层；形成在上述压电体层上的第二电极；形成为至少覆盖上述第一电极的侧面的树脂层；上述第一电极具有由贱金属构成的金属层和防氧化层，上述防氧化层设置在上述金属层与上述压电体层之间，以使上述金属层与上述压电体层不接触。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 致动器 喷射 装置 | ||
【主权项】：
一种压电元件，其特征在于，包括：形成在基板上的第一电极；形成在上述第一电极上的压电体层；形成在上述压电体层上的第二电极；形成为至少覆盖上述第一电极的侧面的树脂层；上述第一电极具有由贱金属构成的金属层和防氧化层，上述防氧化层设置在上述金属层与上述压电体层之间，以使上述金属层与上述压电体层不接触。
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