[发明专利]一种超高体积分数铝碳化硅复合材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201110062273.5 申请日: 2011-03-16
公开(公告)号: CN102173808A 公开(公告)日: 2011-09-07
发明(设计)人: 马俊立;杨军 申请(专利权)人: 西安明科微电子材料有限公司
主分类号: C04B35/565 分类号: C04B35/565;C04B35/622
代理公司: 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 代理人: 韩翎;李罡
地址: 710118 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明涉及一种超高体积分数铝碳化硅复合材料及其制备方法,其碳化硅体积分数达到超高,制备成本低、工艺方便、能实现复杂形状和大尺寸的近净成形、综合性能好、可靠性高。本发明采用的技术方案为:所述复合材料按体积百分比由绿碳化硅粗粉46~55%、绿碳化硅细粉16~23%、绿碳化硅微粉8~12%、金属铝元素8~27%、金属硅元素1.9~2.7%和金属镁元素0.1~0.3%组成;所述绿碳化硅粗粉、绿碳化硅细粉和绿碳化硅微粉的粒径分别为120~210μm、30~63μm和6~12μm。
搜索关键词: 一种 超高 体积 分数 碳化硅 复合材料 及其 制备 方法
【主权项】:
一种超高体积分数铝碳化硅复合材料,其特征在于:所述复合材料按体积百分比由绿碳化硅粗粉46~55%、绿碳化硅细粉16~23%、绿碳化硅微粉8~12%、金属铝元素8~27%、金属硅元素1.9~2.7%和金属镁元素0.1~0.3%组成;所述绿碳化硅粗粉、绿碳化硅细粉和绿碳化硅微粉的粒径分别为120~210μm、30~63μm和6~12μm。
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