[发明专利]激光损伤阈值自动测试装置及测试方法有效
申请号: | 201110061582.0 | 申请日: | 2011-03-15 |
公开(公告)号: | CN102564734A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 樊仲维;王家赞 | 申请(专利权)人: | 北京国科世纪激光技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100192 北京市海淀区西小*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光损伤阈值自动测试装置及测试方法,其包括:激光器、分光衰减系统、聚焦系统、能量采集系统、光束采集系统及处理系统,其中,所述分光衰减系统包括高反射镜、高透射镜、联动机构及八字补偿高透射镜,所述高反射镜、高透射镜在联动机构的作用下互换位置,并且在互换过程中,前述的高反射镜、高透射镜的前镜面位于同一个平面上。测试方法包括以下步骤:a)计算激光束单位面积上的损伤能量;b)将前述激光光束打击待测片上的多个测试点,并用光束采集系统观察待测片表面的损伤情况;c)调整激光束的能量,并重复步骤a至b,直至测得损伤阈值为止。本发明的此种结构及测试方法,使得测试误差极小,并且适用性强、效率高。 | ||
搜索关键词: | 激光 损伤 阈值 自动 测试 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种激光损伤阈值自动测试装置,其包括:依光路方向依序设置的分光衰减系统、聚焦系统、能量采集系统及光束采集系统,所述分光衰减系统及所述能量采集系统位于外部激光器发出激光束的第一主光轴上,所述聚焦系统、所述光束采集系统位于与第一主光轴垂直的第二主光轴上,其特征在于:所述分光衰减系统包括高反射镜、高透射镜及联动机构,所述高反射镜、高透射镜在所述联动机构的作用下互换位置。
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