[发明专利]光滤波器以及使用其的分析设备和光设备

摘要

本发明涉及光滤波器以及使用其的分析设备和光设备。该光滤波器具有：第一基板、第二基板、被设于第一基板的第一对置面中的第一反射膜、被设于第二基板的第二对置面中的第二反射膜、在俯视时在第一反射膜的周围的位置设于第一基板中的第一电极、被设于第二基板中而与第一电极对置的第二电极，在第一对置面及第二对置面的至少一方中形成阶梯部，将第一反射膜与第二反射膜之间的初始间隙制成比第一电极与第二电极之间的初始间隙小，精度优良地控制反射膜间的间隙。

主权项

一种光滤波器，其特征在于，包括：第一基板；第二基板，其与所述第一基板对置；第一反射部，其被设置于所述第一基板的与所述第二基板对置的第一对置面；第二反射部，其被设置于所述第二基板的与所述第一基板对置的第二对置面，并与所述第一反射部对置；第一电极，其在俯视的情况下，在所述第一反射部的周围的位置被设置于所述第一基板的所述第一对置面；及第二电极，其被设置于所述第二基板的所述第二对置面，并与所述第一电极对置，在所述第一对置面和所述第二对置面的至少一方中形成有阶梯部，在向所述第一电极与所述第二电极之间施加的电压为未施加状态下的所述第一反射部与所述第二反射部之间的间隙，小于向所述第一电极与所述第二电极之间施加的电压为未施加状态下的所述第一电极与所述第二电极之间的间隙。