[发明专利]光滤波器以及使用其的分析设备和光设备

权利要求书

1.一种光滤波器，其特征在于，包括：

第一基板；

第二基板，其与所述第一基板对置；

第一反射部，其被设置于所述第一基板的与所述第二基板对置的第一对置面；

第二反射部，其被设置于所述第二基板的与所述第一基板对置的第二对置面，并与所述第一反射部对置；

第一电极，其在俯视的情况下，在所述第一反射部的周围的位置被设置于所述第一基板的所述第一对置面；及

第二电极，其被设置于所述第二基板的所述第二对置面，并与所述第一电极对置，

在所述第一对置面和所述第二对置面的至少一方中形成有阶梯部，

在向所述第一电极与所述第二电极之间施加的电压为未施加状态下的所述第一反射部与所述第二反射部之间的间隙，小于向所述第一电极与所述第二电极之间施加的电压为未施加状态下的所述第一电极与所述第二电极之间的间隙。

2.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，

所述第一基板的所述第一对置面包括第一面和第二面，该第二面在俯视的情况下被配置于所述第一面的周围并与所述第一面存在阶梯差，在所述第一面形成有所述第一反射部，在所述第二面形成有所述第一电极。

3.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，

所述第一基板的所述第一对置面包括第一面和第二面，该第二面在俯视的情况下被配置于所述第一面的周围并与所述第一面存在阶梯差，在所述第一面形成有所述第一反射部，在所述第二面形成有所述第一电极，

所述第二基板的所述第二对置面包括第三面和第四面，该第四面在俯视的情况下被配置于所述第三面的周围并与所述第三面存在阶梯差，在所述第三面形成有所述第二反射部，在所述第四面形成有所述第二电极。

4.根据权利要求2或3所述的光滤波器，其特征在于，

所述第二基板以相对于所述第一基板可移动的方式被支承，

所述第二基板的配置有所述第二反射部的区域的壁厚形成为比配置有所述第二电极的区域的壁厚厚。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的光滤波器，其特征在于，

所述第一电极被分割为在电气上独立的至少K个段电极，其中，K为2以上的整数，

所述第二电极是处于相同电位的公共电极。

6.根据权利要求2至4中任意一项所述的光滤波器，其特征在于，

所述第一电极被分割为在电气上独立的至少K个段电极，其中，K为2以上的整数，

所述第二电极是处于相同电位的公共电极，

所述K个段电极至少具有第一、第二段电极，该第一、第二段电极分别包括相对于所述第一反射部的中心被配置为同心环状的环状电极部，所述第一段电极被配置为比所述第二段电极靠内周侧。

7.根据权利要求6所述的光滤波器，其特征在于，

第一引出布线与所述第一段电极连接，

在所述第二段电极中设有使所述第二段电极的所述环状电极部不连续的第一狭缝，

所述第一引出布线穿过所述第一狭缝被引出到所述第二段电极的外侧。

8.根据权利要求7所述的光滤波器，其特征在于，

被配置于相对于所述第一基板变位的所述第二基板上的所述第二电极具有第三、第四段电极，该第三、第四段电极分别包括相对于所述第二反射部的中心配置为同心环状的环状电极部，所述第三段电极与所述第一段电极对置，所述第四段电极与所述第二段电极对置，并且第三、第四段电极之间被电连接。

9.根据权利要求8所述的光滤波器，其特征在于，

在与所述第一狭缝对置的位置连续形成有所述第四段电极的所述环状电极部。

10.根据权利要求8所述的光滤波器，其特征在于，

还具有在与所述第一狭缝对置的位置使所述第四段电极的所述环状电极部不连续的第二狭缝。