[发明专利]光干涉测量装置

摘要

一种光干涉测量装置，其包括：宽带光的光源；物镜部，其将宽带光的光路分成包括参照镜的参照光路和包括测量对象的测量光路，并且物镜部输出两个分支光的合成波；以及光路长度改变部，其改变参照光路的光路长度或改变测量光路的光路长度；其中，物镜部包括控制参照光和对象光之间的相位差以产生相消干涉条纹的相位差控制构件以及检测相消干涉条纹的最小辉度位置的最小辉度位置检测部。

主权项

一种光干涉测量装置，其包括：光源，其输出宽带光；物镜部，其将从所述光源输出的所述宽带光的光路分成包括参照镜的参照光路和包括测量对象的测量光路，并且所述物镜部输出被所述参照镜反射的参照光和被所述测量对象反射的对象光的合成波；光路长度改变部，其改变所述参照光路的光路长度或者改变所述测量光路的光路长度；以及摄像部，其形成从所述物镜部输出的所述合成波的干涉图像数据；其中，所述物镜部包括：相位差控制构件，其控制所述参照光与所述对象光之间的相位差，以在所述参照光路和所述测量光路之间的光路差为零的位置处产生相消干涉条纹，及最小辉度位置检测部，其基于由所述摄像部形成的所述干涉图像数据而检测所述相消干涉条纹的最小辉度位置。