[发明专利]膜厚量测装置及其校正方法有效
| 申请号： | 201110053410.9 | 申请日： | 2011-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN102141698A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 柯智胜;贺成明 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01B21/08 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种膜厚量测装置及其校正方法。所述膜厚量测装置包含至少两位于不同校正位置的固定座、一用于承载基材的承载机台，以及一量测头。所述量测头从承载机台接收当前所承载基材的标识；并从保存的对应关系中获取该标识对应的校正位置的参数，并移动到获取的参数所对应的校正位置上方，进而量测位于该校正位置的固定座上的校正片的膜厚实现校正。本发明针对不同基材而自动切换到对应的校正位置进行校正，可避免手动更换校正片的不便。 | ||
| 搜索关键词： | 膜厚量测 装置 及其 校正 方法 | ||
【主权项】：
一种膜厚量测装置，其特征在于，包括：至少两个固定座，分别位于不同的校正位置，用于承载不同的校正片；一承载机台，位于所述固定座的一侧，用于承载一待量测的基材，并且储存当前承载的基材的标识；以及一量测头，位于所述固定座与所述承载机台上方，并从承载机台接收所述基材的标识，并从保存的对应关系中获取该标识对应的校正位置的参数，所述对应关系为标识与校正位置的参数的对应关系，并移动到获取的参数所对应的校正位置上方，量测位于该校正位置的固定座上的校正片的膜厚以实现校正。
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