[发明专利]硅片制绒槽隔液式均匀加热装置无效
| 申请号： | 201110046649.3 | 申请日： | 2011-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN102157620A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 吴旻 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H05B3/06;C30B33/10 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片制绒槽隔液式均匀加热装置，包括隔热底座、电加热线圈、不锈钢板、耐腐粘接胶层和制绒槽体，在隔热底座上设有布置电加线圈的凹槽，凹槽的深度大于电加线圈的直径，电加热线圈布设在凹槽中，不锈钢板设置在隔热底座的上方，制绒槽体通过耐腐粘接胶层与不锈钢板粘接成一体，不锈钢板的散热面积与制绒槽的底部相当。由于在制绒槽的底部设置了不锈钢板的面式均匀加热装置，在不锈钢板的下面设置了电加热线圈，电加热线圈先对整个不锈钢板进行加热然后均匀地传导给制绒槽中的腐蚀液，这样既提高制绒槽内液体温度上升的速度，也提高了温度场的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 制绒槽隔液式 均匀 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片制绒槽隔液式均匀加热装置，其特征是：包括隔热底座(1)、电加热线圈(2)、不锈钢板(3)、耐腐粘接胶层(4)和制绒槽体(5)，在隔热底座(1)上设有布置电加热线圈(2)的凹槽(11)，凹槽(11)的深度大于电加热线圈(2)的直径，电加热线圈(2)布设在凹槽(11)中，不锈钢板(3)设置在隔热底座(1)的上方，制绒槽体(5)通过耐腐粘接胶层(4)与不锈钢板(3)粘接成一体，不锈钢板(3)的散热面积与制绒槽的底部相当。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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