[发明专利]CVD-西门子反应器法氢再循环系统

摘要

提供用于与化学气相沉积(CVD)西门子型方法一起使用的氢再循环方法与系统。所述方法的结果是基本上完全的或完全的氢利用，以及基本上无污染的或无污染的氢。

主权项

在一种CVD‑西门子系统中，包括含有至少一个被夹套围绕的反应室的反应器容器，其中预加热流体在所述夹套中被循环；一个或更多个延伸到所述反应室中的电极组件，其中每个电极组件包括气体进口、一个或更多个传热流体进口/出口；至少一对硅丝，所述丝在它们的上端以硅桥彼此连接，以形成丝/细棒组件，每个丝/细棒组件被包在隔离夹套中；连接到所述容器内部的带硅气体的源，用于将所述气体供应至所述反应室中，其中所述反应室包括一个或更多个分配位置，以产生反应并且通过化学气相沉积在所述丝上沉积多晶硅，由此生产多晶硅的棒；连接到所述带夹套的反应室的传热系统，以供应传热流体来预加热所述丝/细棒组件；以及电源，改进包括氢回收和再循环系统，所述氢回收和再循环系统包括：液氮冷却系统；硅烷冷凝器；再循环氢冷却器；以及氢再生冷却器，压缩机，以及一个或更多个交换器，其中来自所述反应器的排放气体被冷却至约30和40℃之间，所述压缩机接受并且压缩所述冷却过的气体至系统要求压力，所述交换器使用较冷料流与较暖料流之间的逆流冷却废气至‑160和‑165℃之间，所述废气料流使用所述氢再生冷却器中的液氮交换器被进一步冷却至‑170和‑185℃之间。