[发明专利]透明导电性薄膜、其制造方法以及具备其的触摸面板

摘要

本发明提供一种透明导电体层已被图案化而且外观良好的透明导电性薄膜及其制造方法。该透明导电性薄膜是一种在透明的薄膜基材的单面或两面经由至少一层底涂层具有透明导电体层的透明导电性薄膜，其特征在于，所述透明导电体层已被图案化，而且在不具有所述透明导电体层的非图案部具有所述至少一层底涂层。

主权项

一种透明导电性薄膜的制造方法，其中透明导电性薄膜是在透明的薄膜基材的单面或两面上，经由至少一层底涂层地具有透明导电体层，并且所述透明导电体层被图案化，且在不具有所述透明导电体层的非图案部具有所述至少一层底涂层的透明导电性薄膜，所述透明导电性薄膜的制造方法的特征在于，在透明的薄膜基材的单面或两面上，利用有机物形成从透明的薄膜基材开始第一层的底涂层的工序；在所述底涂层上利用溅射法形成透明导电体层的工序；以及将所述透明导电体层蚀刻并图案化的工序。