[发明专利]一种无衍射光束漂移的二维探测装置有效

专利信息
申请号: 201110042784.0 申请日: 2011-02-22
公开(公告)号: CN102175187A 公开(公告)日: 2011-09-07
发明(设计)人: 张新宝;张坤 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 朱仁玲
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种无衍射光束漂移的二维探测装置,包括两个45º分光镜、两个成像透镜组、两个高速图像探测器和连接所述两个图像探测器的计算机处理系统;无衍射光束发生器发射的无衍射光首先入射到第一个45º分光镜,经分光为一路反射光和一路透射光,该一路反射光经其中一个成像透镜组后成像在其中一个高速图像探测器上;另一路透射光入射到另一个45º分光镜,经分光后的一路反射光经另一成像透镜组后成像在另一个高速图像探测器上,两个图像探测器同步探测出光束截面图像,并输入到计算机处理系统进行比较处理,探测出无衍射光的光束漂移。本发明的二维探测装置测量无衍射光束中心的平漂量和无衍射光束的角漂量的精度高,且能实时测量。
搜索关键词: 一种 衍射 光束 漂移 二维 探测 装置
【主权项】:
一种无衍射光束漂移的二维探测装置,用于对无衍射光的光束漂移进行探测,该装置包括两个45°分光镜(2,5)、两个成像透镜组(3,6)、两个图像探测器(4,7)和连接所述两个图像探测器(4,7)的计算机处理系统(8);无衍射光束发生器(1)发射的无衍射光首先入射到第一个45°分光镜(2),分光为一路反射光和一路透射光,该一路反射光经其中一个成像透镜组(3)后成像在其中一个图像探测器(4)上;另一路透射光入射到另一个45°分光镜(5),经分光后一路透射成为输出的无衍射光束,一路反射后经另一成像透镜组(6)后成像在另一个高速图像探测器(7)上,两个图像探测器(4、7)同步探测出光束截面图像,并输入到所述计算机处理系统(8)进行比较处理,即可探测出无衍射光的光束漂移量。
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