[发明专利]薄膜太阳电池用刻划装置

摘要

提供使在低荷重的微妙的调整为可能，漂亮地切削太阳电池基板的薄膜，可消除不规则的薄膜的剥离的产生以形成直线且漂亮的刻划线的刻划装置。沿积体型太阳电池基板W的刻划预定线将安装于刻划头(1)的槽加工工具(4)的刃前缘按压于太阳电池基板W的表面，同时使槽加工工具(4)对太阳电池基板W相对移动以于形成于太阳电池基板W的表面的薄膜形成槽的刻划装置，其特征在于：由可上下移动地安装于刻划头(1)且保持槽加工工具(4)的工具保持具(5)、将工具保持具(5)往太阳电池基板W的表面加压的气压缸(6)、将工具保持具(5)往上方加压的弹簧(7)构成。

主权项

一种薄膜太阳电池用刻划装置，沿太阳电池基板的刻划预定线将安装于刻划头的槽加工工具的刃前缘按压于太阳电池基板表面，同时使槽加工工具对太阳电池基板相对移动以于形成于太阳电池基板的表面的薄膜形成槽，其特征在于：由可上下移动地安装于刻划头且保持槽加工工具的工具保持具、将工具保持具往太阳电池基板表面加压的气压缸、将工具保持具往上方加压的弹簧构成。