[发明专利]微机电系统元件及用于其中的防止变形结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201110008099.6 | 申请日： | 2011-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN102583217A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 王传蔚 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种具有防止变形结构的微机电系统(MEMS)元件，设置于基板上，包含：一动件；以及一防止变形结构，其具有：附着于该基板的一固定栓；多个金属层，其包含一最上层金属层；以及连接该多个金属层的多个金属栓；其中，该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。同时，本发明还提出一种用于微机电系统元件中的防止变形结构，以及一种微机电系统元件的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 元件 用于 中的 防止 变形 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统元件，设置于一基板上，其特征在于，包含：一动件；以及一防止变形结构，其具有：附着于该基板的一固定栓；多个金属层，其包含一最上层金属层；以及连接该多个金属层的多个金属栓；其中，该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。
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