[发明专利]蒸发单元和真空涂布装置有效
| 申请号： | 201080070574.6 | 申请日： | 2010-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN103249861A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | S·海恩;G·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置包括第一可旋转涂布滚筒(11)以及与第一滚筒(11)平行设置的第二可旋转涂布滚筒(12)，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒(11、12)之间形成有用于传送至少一个卷筒纸料(15)的缝隙(17)。第一蒸发器(21)具有用于产生第一蒸发束(31b)的至少一个蒸发源(21a)，其中第一蒸发器(21)紧靠所述第一涂布滚筒(11)布置。第二蒸发器(22)具有用于产生第二蒸发束(32b)的至少一个蒸发源(22a)，其中第二蒸发器(22)紧靠第二涂布滚筒(12)布置。第一蒸发器和第二蒸发器(21、22)相对于彼此倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 单元 真空 装置 | ||
【主权项】：
一种用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置，所述真空涂布装置包含:真空腔室(50);第一可旋转涂布滚筒(11)和第二可旋转涂布滚筒(12)，所述第二涂布滚筒(12)与所述第一滚筒(11)平行设置，其中在所述第一涂布滚筒与所述第二涂布滚筒(11、12)之间形成用于传送至少一个卷筒纸料(15)的缝隙(17);第一蒸发器(21)，所述第一蒸发器(21)包含用于产生第一蒸发束(31b)的至少一个蒸发源(21a)，所述第一蒸发器(21)紧靠所述第一涂布滚筒(11)布置;第二蒸发器(22)，所述第二蒸发器(22)包含用于产生第二蒸发束(32b)的至少一个蒸发源(22a)，所述第二蒸发器(22)紧靠所述第二涂布滚筒(12)布置;所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)相对于彼此倾斜。
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