[发明专利]蒸发单元和真空涂布装置

说明书

发明背景

技术领域

本文所述的实施例涉及用于涂布卷筒纸料（web）的真空涂布装置。更特定而言，描述具有至少一个蒸发源和至少两个涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。进一步实施例涉及具有相对于彼此倾斜的至少两个涂布滚筒和至少两个蒸发源的真空涂布装置。进一步实施例涉及具有相对于彼此倾斜的蒸发源的蒸发单元。

背景技术

涂布装置用于通过材料覆盖来涂布卷筒纸料（诸如，箔片或薄膜）。涂布装置包括导向涂布滚筒的蒸发源，该涂布滚筒传送卷筒纸料穿过形成在蒸发源和涂布滚筒之间的沉积区域。从蒸发源蒸发的材料形成具有某一开度角的“蒸发束”，使得蒸发的材料传播。为了限制蒸发的材料沉积到卷筒纸料上并且避免沉积到涂布装置的其他区域上，提供覆盖待保护区域的遮蔽构件。需要定期清洗这些遮蔽构件。此外，大量的蒸发材料沉积在这些遮蔽构件上，从而浪费了这些蒸发材料，降低了产出率。

因此，需要改良真空涂布装置。

发明内容

鉴于以上所述，提供一种如权利要求1所述的真空涂布装置。此外，提供一种如权利要求9所述的真空涂布装置。此外，提供一种如权利要求14所述的真空涂布装置。此外，提供一种如权利要求17所述的蒸发单元。此外，提供一种如权利要求20所述的用于涂布卷筒纸料的方法。

根据一个实施例，提供一种用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置。所述装置包括真空腔室、第一可旋转涂布滚筒、以及与第一滚筒平行设置的第二可旋转涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成用于传送至少一个卷筒纸料的缝隙。第一蒸发器包括用于产生第一蒸发束的至少一个蒸发源，其中紧靠第一涂布滚筒布置第一蒸发器。第二蒸发器包括用于产生第二蒸发束的至少一个蒸发源，其中紧靠第二涂布滚筒布置第二蒸发器。第一蒸发器与第二蒸发器相对于彼此倾斜。

根据一个实施例，提供一种蒸发单元。蒸发单元包括具有用于产生第一蒸发束的至少一个蒸发源的第一蒸发器，以及具有用于产生第二蒸发束的至少一个蒸发源的第二蒸发器。第一蒸发器与第二蒸发器相对于彼此倾斜。

根据一个实施例，提供一种用于涂布卷筒纸料的方法。所述方法包括：提供第一可旋转涂布滚筒以及与第一滚筒平行设置的第二可旋转涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成有缝隙；通过从第一蒸发器自第一蒸发方向蒸发材料并且从第二蒸发器自第二蒸发方向蒸发材料，来形成紧靠第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的表面的共同蒸发区域；由第一涂布滚筒和/或第二涂布滚筒传送至少一个卷筒纸料穿过共同蒸发区域。

附图说明

为了可以详细地理解本发明的上述特征的方式，可参照实施例对简要概述于上的本发明进行更加详细的描述，这些实施例中的一些实施例图示于附图中。然而应注意的是，附图仅图示本发明的典型实施例并因此不被视为限制本发明的范围，因为本发明可包括其他等效实施例。

图1图示具有两个蒸发源和两个彼此平行布置的涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。

图2A图示根据一个实施例的具有两个蒸发源的真空涂布装置的放大剖面图，该放大剖面图用于图示蒸发源相对于涂布滚筒的布置。

图2B图示根据一个实施例的具有两个蒸发源的真空涂布装置的放大剖面图，该放大剖面图用于图示蒸发源相对于涂布滚筒的布置。

图2C图示根据一个实施例的具有两个蒸发源的真空涂布装置的放大剖面图，该放大剖面图用于图示蒸发源相对于涂布滚筒的布置。

图3图示具有一个蒸发源和两个彼此平行布置的涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。

图4图示具有两个蒸发源和一个涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。

图5图示具有一个蒸发源和两个彼此平行布置的涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。

图6图示具有两个蒸发源和两个彼此平行布置的涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。

图7图示根据一个或多个实施例的真空涂布装置。

图8图示根据一个或多个实施例的蒸发器单元。

图9A和图9B图示蒸发源的蒸发束。

图10图示根据一个或多个实施例的彼此平行布置的两个涂布滚筒的平面视图。

为了促进理解，在可能的地方使用相同或相近的附图标记来指示诸图所共有的相同元件。在一个实施例中公开的元件被视为可有利地用于其他实施例而无需特定参照。

具体实施方式

本文所述的实施例可用于各种涂布工艺，诸如，卷筒纸料的涂布，所述卷筒纸料由布置在真空腔室内的至少一个涂布滚筒输送。