[发明专利]蒸发单元和真空涂布装置

权利要求书

1.一种用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置，所述真空涂布装置包含:

真空腔室(50);

第一可旋转涂布滚筒(11)和第二可旋转涂布滚筒(12)，所述第二涂布滚筒(12)与所述第一滚筒(11)平行设置，其中在所述第一涂布滚筒与所述第二涂布滚筒(11、12)之间形成用于传送至少一个卷筒纸料(15)的缝隙(17);

第一蒸发器(21)，所述第一蒸发器(21)包含用于产生第一蒸发束(31b)的至少一个蒸发源(21a)，所述第一蒸发器(21)紧靠所述第一涂布滚筒(11)布置;

第二蒸发器(22)，所述第二蒸发器(22)包含用于产生第二蒸发束(32b)的至少一个蒸发源(22a)，所述第二蒸发器(22)紧靠所述第二涂布滚筒(12)布置;

所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)相对于彼此倾斜。

2.如权利要求1所述的真空涂布装置，其中所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)的每一个包含主要蒸发方向(31a、32a)，其中所述各自的主要蒸发方向(31a、32a)的几何扩展在布置在所述缝隙(17)前方的点P处相交。

3.如权利要求1或2所述的真空涂布装置，其中所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)被配置为传送卷筒纸料(15)穿过所述缝隙(17)，并且其中所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)相对于所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)布置，使得当从所述各自的蒸发器(21、22)的所述蒸发源(21a、Z2a)观察时，所述缝隙(17)被所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)的对应的一个隐藏在视野之外。

4.如权利要求1至3的任一项所述的真空涂布装置，其中当沿连接所述第一涂布滚筒(11)的所述旋转轴(11a)与所述第二涂布滚筒(12)的所述旋转轴(12a)的假想连接线(13)测量时，所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)的每一个具有半径R，并且所述第一涂布滚筒与所述第二涂布滚筒(11、12)之间的所述缝隙(17)具有宽度D，其中所述比值R/D大于或等于15。

5.如权利要求1至4的任一项所述的真空涂布装置，进一步包含相对于所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)布置在所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)后方的导辊(18)，所述导辊(18)用于引导所述卷筒纸料(15)穿过所述缝隙(17)。

6.如权利要求1至5的任一项所述的真空涂布装置，其中所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)经布置，使得所述第一蒸发束和所述第二蒸发束(31b、32b)形成布置在所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)与所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)之间的共同沉积区域。

7.如权利要求6所述的真空涂布装置，其中当在沿所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)的所述轴(11a、12a)的投影中观察时，所述共同沉积区域与由单个蒸发器形成的沉积区域相比具有更加均匀的蒸发材料分布。

8.如权利要求1至7的任一项所述的真空涂布装置，被配置为由所述第一涂布滚筒(11)输送第一卷筒纸料(15')穿过所述缝隙(17)，并且同时由所述第二涂布滚筒(12)输送第二卷筒纸料(15)穿过所述缝隙(17)。