[发明专利]阻抗匹配装置有效
| 申请号： | 201080062936.7 | 申请日： | 2010-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102742366A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 金宰显;李相元;李容官 | 申请（专利权）人： | 株式会社普来马特 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H03H7/40 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;武玉琴 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种阻抗匹配装置。该阻抗匹配装置与等离子体负载进行阻抗匹配。该阻抗匹配装置包括：第一频率阻抗匹配电路单元，该第一频率阻抗匹配电路单元工作在第一频率，向等离子体负载传送第一频率RF功率源单元的输出；以及第二频率阻抗匹配电路单元，该第二频率阻抗匹配电路单元工作在高于第一频率的第二频率，向等离子体负载传送第二频率RF功率源单元的输出。其中，第一频率阻抗匹配电路单元包括T型匹配电路，并且第二频率阻抗匹配电路单元包括标准L型匹配电路或Π型匹配电路。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 装置 | ||
【主权项】：
一种用于与等离子体负载进行阻抗匹配的阻抗匹配装置，包括：第一频率阻抗匹配电路单元，其工作在第一频率，设置为向所述等离子体负载传送第一频率RF功率源单元的输出；以及第二频率阻抗匹配电路单元，其工作在高于所述第一频率的第二频率，设置为向所述等离子体负载传送第二频率RF功率源单元的输出，其中，所述第一频率阻抗匹配电路单元包括T型匹配电路，并且所述第二频率阻抗匹配电路单元包括标准L型匹配电路或Π型匹配电路。
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