[发明专利]定向自组装方法以及由此形成的分层结构有效
| 申请号： | 201080057340.8 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102667623A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | D·P·桑德斯;J·程;W·辛斯伯格;H-C·金;M·科尔伯恩;S·哈勒;S·霍姆斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;董典红 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种形成包括自组装材料的分层结构的方法，包括：在衬底上布置非交联的光刻胶层；将光刻胶层图案式曝光于第一辐射；可选地加热已曝光光刻胶层；采用含水碱性显影剂在第一显影工艺中显影已曝光光刻胶层，从而形成初始图案化光刻胶层；光化学地、热地和/或化学地处理初始图案化光刻胶层，由此形成包括布置在第一衬底表面上的未交联的已处理光刻胶的已处理图案化光刻胶层；在已处理图案化光刻胶层上浇铸定向控制材料在第一溶剂中的溶液，并且去除第一溶剂，从而形成定向控制层；加热定向控制层以有效地将定向控制材料的一部分结合至第二衬底表面；在第二显影工艺中去除已处理光刻胶的至少一部分以及可选地去除任何未结合的定向控制材料，由此形成用于自组装的预图案；可选地加热预图案；在预图案上浇铸溶解在第二溶剂中的能够自组装的材料的溶液，并且去除第二溶剂；以及采用可选的加热和/或退火，允许已浇铸材料自组装，由此形成包括自组装材料的分层结构。 | ||
| 搜索关键词： | 定向 组装 方法 以及 由此 形成 分层 结构 | ||
【主权项】：
一种形成包括自组装材料的分层结构的方法，包括：在衬底上布置非交联的光刻胶层；将所述光刻胶层图案式曝光于第一辐射；可选地加热已曝光光刻胶层；采用含水碱性显影剂在第一显影工艺中显影所述已曝光光刻胶层，从而形成初始图案化光刻胶层；光化学地、热地和/或化学地处理所述初始图案化光刻胶层，由此形成包括布置在第一衬底表面上的未交联的已处理光刻胶的已处理图案化光刻胶层；在所述已处理图案化光刻胶层上浇铸定向控制材料在第一溶剂中的溶液，并且去除所述第一溶剂，从而形成定向控制层；加热所述定向控制层以有效地将所述定向控制材料的一部分结合至第二衬底表面；在第二显影工艺中去除已处理光刻胶的至少一部分以及可选地去除任何未结合的定向控制材料，由此形成用于自组装的预图案；可选地加热所述预图案；在所述预图案上浇铸溶解在第二溶剂中的能够自组装的材料的溶液，并且去除所述第二溶剂；以及采用可选的加热和/或退火允许已浇铸材料自组装，由此形成所述包括自组装材料的分层结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080057340.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
