[发明专利]晶片结构的电耦合有效
申请号: | 201080056932.8 | 申请日: | 2010-11-22 |
公开(公告)号: | CN102656673A | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | 刘连军;L·H·卡尔林;A·J·马格纳斯 | 申请(专利权)人: | 飞思卡尔半导体公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 陈华成 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供了一种用于使第一晶片(105)与第二晶片(103)电耦合的方法。该方法包括使用接合材料(121)来使第一晶片与第二晶片接合。该方法还包括在第一晶片中在第二晶片的划线区(141或143)内形成开口(201或203)以使第二晶片的导电结构(108或112)的表面露出。该方法还包括形成覆盖于第一晶片及第一晶片内的开口之上的导电层,使得导电层与第二晶片的导电结构(108或112)形成电接触,从而使第一晶片与第二晶片电耦合。 | ||
搜索关键词: | 晶片 结构 耦合 | ||
【主权项】:
一种用于使第一晶片与第二晶片电耦合的方法,所述方法包括:使所述第一晶片与所述第二晶片接合;在所述第一晶片中在所述第二晶片的划线区内形成开口以使得所述二晶片的导电结构的表面露出;以及形成覆盖于所述第一晶片及所述第一晶片中的所述开口之上的导电层,使得所述导电层与所述第二晶片的导电结构形成电接触,从而使所述第一晶片与所述第二晶片电耦合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造