[发明专利]扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 201080052970.6 | 申请日： | 2010-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102668013A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 岩谷彻;高堀荣;大泷智久;波多野治彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/143 | 分类号： | H01J37/143;H01J37/04;H01J37/141;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制柱镜筒架的温度上升，且维持分解能等性能，并同时实现装置的小型化的扫描电子显微镜。该扫描电子显微镜利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
一种扫描电子显微镜，其利用会聚透镜使从电子源放出的电子线会聚而向试料上照射，并对来自试料的二次电子、反射电子、其它的信号进行检测，从而观察试料，所述扫描电子显微镜的特征在于，所述会聚透镜具有电磁线圈型及永久磁铁型这两种。
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