[发明专利]使用外延剥离制备柔性光伏器件以及保持在外延生长中使用的生长基板的完整性的方法

摘要

公开了一种通过使用外延剥离制造诸如柔性光伏(PV)器件的光敏器件的方法。这里还描述了制备柔性PV器件的方法，该柔性PV器件包括具有生长基板的结构，其中保护层的选择性蚀刻产生适合于重新使用的光滑的生长基板。

主权项

一种保持生长基板的完整性的方法，包括：提供结构，所述结构具有：具有至少一个生长表面的生长基板；电池；牺牲层；第一保护层；和第二保护层，其中所述牺牲层以及所述第一和第二保护层位于所述生长基板和所述电池之间；通过利用蚀刻剂蚀刻所述牺牲层来释放所述电池；通过利用蚀刻剂蚀刻所述第二保护层来移除所述第二保护层；以及通过利用蚀刻剂蚀刻所述第一保护层来移除所述第一保护层。