[发明专利]无接触式真空夹持器

摘要

本发明涉及一种真空夹持器并且尤其涉及一种用于小心地夹持表面敏感的工件(例如太阳能电池、晶片或纯平屏幕用的面板)、同样用于夹持重的玻璃板或由其它材料构成的带有非常光滑的表面的板(其互相堆叠并且应从上被取下)的真空夹持器，其中真空夹持器具有以下特征：直的或拱曲的夹持器板(2)；至少一个抽吸口(3；3a)，其设置在夹持器板(2)中，其中围绕抽吸口(3)构造有工件-节流-面(6)；至少一个凹口(4)，其在夹持器板(2)的面向工件的侧面中关于抽吸口(3)设置在工件-节流-面(6)之外；和至少一个排气孔(5)，其设置在每个凹口(4)之内。

主权项

一种用于容纳工件(1)的真空夹持器，其中所述真空夹持器具有以下特征：‑直的或拱曲的夹持器板(2)，‑至少一个抽吸口(3；3a)，其设置在所述夹持器板(2)中，其中围绕所述抽吸口(3)构造有工件‑节流‑面(6)，‑至少一个凹口(4)，其在所述夹持器板(2)的面向所述工件的侧面中关于所述抽吸口(3)设置在所述工件‑节流‑面(6)之外和‑至少一个排气孔(5)，其设置在每个凹口(4)之内。