[发明专利]无接触式真空夹持器有效
| 申请号: | 201080042938.X | 申请日: | 2010-07-22 |
| 公开(公告)号: | CN102639415A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
| 发明(设计)人: | M·席尔普;J·齐默曼;A·齐茨曼 | 申请(专利权)人: | 齐默尔曼和席尔普搬运技术有限责任公司 |
| 主分类号: | B65G47/91 | 分类号: | B65G47/91;B65G49/06;H01L21/683 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 肖日松;杨国治 |
| 地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 接触 真空 夹持 | ||
1.一种用于容纳工件(1)的真空夹持器,其中所述真空夹持器具有以下特征:
-直的或拱曲的夹持器板(2),
-至少一个抽吸口(3;3a),其设置在所述夹持器板(2)中,其中围绕所述抽吸口(3)构造有工件-节流-面(6),
-至少一个凹口(4),其在所述夹持器板(2)的面向所述工件的侧面中关于所述抽吸口(3)设置在所述工件-节流-面(6)之外和
-至少一个排气孔(5),其设置在每个凹口(4)之内。
2.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,所述排气孔(5)的开口横截面是可变的。
3.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,每个凹口设置有多个排气孔(5),其能够有选择性地闭合。
4.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,所述排气孔(5)以多孔材料填充。
5.根据权利要求4所述的真空夹持器,其特征在于,所述多孔材料是由开孔的泡沫塑料构成的塞子。
6.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,所述排气孔(5)具有可更换的空气过滤器。
7.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,所述排气孔(5)具有用于旋入带有不同几何结构的喷嘴的螺纹孔。
8.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,所述排气孔(5)具有可控制的流量阀。
9.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,所述凹口(4)的容积是可改变的。
10.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,多个工件-节流-面(6)设置在夹持器板(2)之内。
11.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,所述夹持器板(2)构造为带有空气排出喷嘴的空气轴承。
12.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,所述夹持器板(2)与至少一个超声波-振荡器机械地连结,其中所述夹持器板(2)这样确定尺寸,使得它形成超声波-空气轴承。
13.根据权利要求1所述的真空夹持器,其特征在于,设置有多个抽吸口(3),其中围绕每个所述抽吸口(3)各构造有工件-节流-面(6)。
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