[发明专利]CMOS MOEMS传感器器件有效
| 申请号： | 201080036174.3 | 申请日： | 2010-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102483427A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 卢卡斯·威廉·斯尼曼 | 申请（专利权）人： | 茨瓦内科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093;G01N21/25;G01N21/64;G02B6/35;H01L33/34 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 | 代理人： | 黄泽雄 |
| 地址： | 南非比*** | 国省代码： | 南非;ZA |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器器件。更具体的是，本发明涉及基于CMOS的微-光-电机传感器(MOEMS)器件，其中硅光发射器件，硅波导和硅探测器使用当前互补金属氧化物半导体(CMOS)技术或绝缘体上硅片(SOI)技术来制造。依据本发明，提供了一种如下的传感器，其包含：基于硅的光发射结构；集成的能够探测机械偏转的电光机界面结构；集成的电子驱动和处理电路，用于探测诸如振动、运动、旋转、加速的物理参数。 | ||
| 搜索关键词： | cmos moems 传感器 器件 | ||
【主权项】：
传感器器件，包含：基于硅的光发射结构；集成的能够探测机械偏转的电光机界面结构；集成的电子驱动和处理电路，用于探测诸如振动、运动、旋转、加速的物理参数。
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