[发明专利]蒸镀用片材及其制造方法有效
| 申请号： | 201080034709.3 | 申请日： | 2010-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN102471871A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 大城梓 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C04B35/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 崔香丹;洪燕 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的蒸镀用片材，其特征在于，在氧化铟烧结体的断裂面上出现的晶粒的粒度分布中，构成最大峰的粒径的晶粒所占的比率为20％以下。并且，所述蒸镀用片材通过包括下列工序的方法来进行制造：第一工序，混合氧化铟粉末和氧化铈粉末，并在1300℃以上且1550℃以下进行热处理，由此获得煅烧粉末；第二工序，在所获得的煅烧粉末中，以使上述煅烧粉末的比率成为50质量％以上且80质量％以下的方式，混合未煅烧的氧化铟粉末和/或氧化铈粉末并且进行造粒，由此获得造粒粉末；以及第三工序，使所获得的造粒粉末成型为成型体，将该成型体在1100℃以上且1350℃以下并且与第一工序中的煅烧粉末的热处理温度相比低200℃以上的温度下进行烧结，由此获得作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀用片材 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀用片材，由作为掺杂物含有铈的氧化铟烧结体构成并且相对密度为50％以上且80％以下，其特征在于，在针对所述氧化铟烧结体的断裂面上出现的晶粒，将其粒径及其个数相乘所得到的晶粒量的分布中，构成最大峰的粒径的晶粒所占的比率、即最多晶粒比率为20％以下。
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