[发明专利]抑制沉积物在制造系统中的形成的方法

摘要

一种方法抑制沉积物在电极的冷却表面上的形成。电极在将材料沉积在载体主体上的制造系统中使用。冷却表面包含铜。系统包括界定室的反应器。电极被至少部分地布置在室内并且支持载体主体。循环系统与电极流体连通，向冷却表面和从冷却表面运输冷却剂组合物。冷却剂组合物包含冷却剂和来自冷却表面的溶解铜。过滤系统与循环系统流体连通。所述方法加热电极。电极的冷却表面与冷却剂组合物接触。材料被沉积在载体主体上，并且冷却剂组合物被过滤系统过滤以从其除去溶解铜的至少一部分。

主权项

一种抑制沉积物在电极的冷却表面上的形成的方法，所述电极在用于将材料沉积在载体主体上的制造系统中使用，其中所述冷却表面包含铜，并且其中所述制造系统包括至少一个界定室的反应器、与所述电极流体连通的用于向所述冷却表面和从所述冷却表面运输冷却剂组合物的循环系统以及与所述循环系统流体连通的过滤系统，其中所述电极被至少部分地布置在所述室内以在所述室内支持所述载体主体，其中所述冷却剂组合物包含冷却剂和来自所述电极的所述冷却表面的溶解铜，所述方法包括以下步骤：加热支持所述载体主体的所述电极；使所述电极的所述冷却表面与所述冷却剂组合物接触；将所述材料沉积在被所述电极支持的所述载体主体上；以及使用所述过滤系统过滤所述冷却剂组合物以从其过滤所述溶解铜的至少一部分。