[发明专利]基板搬运处理系统及基板搬运处理方法、以及部件安装装置及方法有效
| 申请号： | 201080011242.0 | 申请日： | 2010-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN102348621A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 小林荣;壁下朗;渡边雅也 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;G02F1/13;G02F1/1345;H01L21/677;H05K13/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板搬运处理系统，其使用基板移载装置，在第一作业装置和第二作业装置之间，进行保持单元(70)的回旋移动，并在沿水平方向保持一定姿势且同时搬运基板，该基板移载装置具有：臂部(61)；支承轴(62)，其固定于臂部(61)的一端，在水平面内将臂部支承为能够回旋，并且配置在第一作业装置和第二作业装置之间；保持单元(70)，其支承于臂部(61)的另一端，并吸附保持基板的上表面；旋转驱动装置(64)，其以支承轴(62)为旋转中心使臂部(61)回旋，从而使保持单元(70)回旋移动；姿势保持机构(66-69)，其使回旋移动的保持单元在水平方向保持一定姿势。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 处理 系统 方法 以及 部件 安装 装置 | ||
【主权项】：
一种基板搬运处理系统，具备：第一及第二作业装置，其彼此邻接配置，且具备能够解除地吸附保持基板的下表面的基板台和对保持于基板台的基板进行处理的作业处理单元；基板移载装置，其具有：臂部；支承轴，其固定于臂部的一端，且在水平面内将臂部支承为能够回旋，并且配置在第一作业装置和第二作业装置之间；保持单元，其支承于臂部的另一端，能够解除地吸附保持基板的上表面；旋转驱动装置，其以支承轴为旋转中心使臂部回旋，从而使保持单元回旋移动；姿势保持机构，其使回旋移动的保持单元在水平方向上保持为一定姿势，基板移载装置的旋转驱动装置在第一作业装置的基板台上的位置即第一移载位置和第二作业装置的基板台上的位置即第二移载位置之间进行保持单元的回旋移动，并从第一作业装置的基板台向第二作业装置的基板台在水平方向上保持为一定姿势且同时搬运基板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080011242.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
