[发明专利]用于纯化甲硅烷的工艺有效
申请号: | 201080003438.5 | 申请日: | 2010-11-08 |
公开(公告)号: | CN102317208A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 姜京勋;金允准;许耕复;全文圭 | 申请(专利权)人: | 株式会社KCC |
主分类号: | C01B33/04 | 分类号: | C01B33/04;C01B33/039 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩明星;刘灿强 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 提供的是一种纯化甲硅烷的方法。更具体地说,所述方法包括:通过分馏从含有甲硅烷和乙烯的原料中去除杂质(操作1);通过使在操作1中纯化的原料穿过活性炭来去除乙烯和剩余杂质(操作2)。根据所述方法,可以通过使用活性炭选择性地吸附难以通过分馏分离的乙烯来更简单地且更有效地获得高纯度甲硅烷,而没有另外产生副产物。 | ||
搜索关键词: | 用于 纯化 硅烷 工艺 | ||
【主权项】:
一种纯化甲硅烷的方法,所述方法包括:使含有甲硅烷和乙烯的原料穿过孔径为0.4nm至0.7nm的活性炭,以去除乙烯和剩余杂质。
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