[实用新型]一种区熔法生长单晶硅过程中取单晶用的卡具有效
| 申请号： | 201020678524.3 | 申请日： | 2010-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN202000021U | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 韩海建;梁书正;陈海滨;闫志瑞;方峰;沈晓东;叶松芳;肖清华 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种区熔法生长单晶硅过程中取单晶用卡具，它包括：上轴连接杆(1)，中间连接装置(2)和带有耐热防滑垫的卡环组件(3)组成，其中：上轴连接杆(1)与中间连接装置(2)连接，中间连接装置(2)与卡环组件(3)连接。本实用新型的优点是：本卡具不仅可以方便的拆装大重量、大长度的单晶棒，而且安全性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 区熔法 生长 单晶硅 过程 中取单晶用 卡具 | ||
【主权项】：
一种区熔法生长单晶硅过程中取单晶用卡具，其特征在于：它包括：上轴连接杆(1)，中间连接装置(2)和带有耐热防滑垫的卡环组件(3)，所述的上轴连接杆(1)与中间连接装置(2)连接，中间连接装置(2)与卡环组件(3)连接。
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