[实用新型]一种激光滚珠丝杠副行程测量仪

摘要

一种激光滚珠丝杠副行程测量仪，包括：一带有气浮磁浮导轨的床身、一内置角度编码器的主轴箱、一内置双频激光干涉仪的激光干涉箱、一尾架、一载有测量棱镜且横跨在导轨上可沿导轨往复行进的拖车及一置于拖车底座上随拖车同行的测头架；在测头架基体上设有一组同向的联动测头，至少包括有带动测头和测量测头；所述的带动测头尾端固定在测头架基体上，头端置入被测件的滚道内；尾架上开设V型阴导轨槽，顶尖套带有V型阳导轨，该V型阳导轨卧于V型阴导轨槽内；在床身中间区域的导轨上还置有若干组用于支撑被测丝杠的浮动支撑；被测丝杠由主轴箱与尾架内侧的双顶尖及上述的若干组浮动支撑定位，其高效且具有高品质。

主权项

一种激光滚珠丝杠副行程测量仪，包括：一床身，中间区域带有导轨；一主轴箱，置于床身的头端，内置角度编码器；一激光干涉箱，置于床身的尾端，内置双频激光干涉仪；一尾架，置于床身的导轨上，且位于激光干涉箱之前，尾架上套设顶尖套；被测丝杠夹置在主轴箱与尾架间；一载有测量棱镜的拖车，横跨在导轨上且可沿导轨往复行进，测头架置于拖车的底座上且可随拖车同行；其特征在于：所述床身中间区域带有的导轨为气浮磁浮导轨，该床身采用整体硬质材料，中间区域的导轨是在床身上直接开槽加工而成，两侧具有凸起的轨道，该凸起的轨道上表面为精密的平面导轨，其外侧为立面侧轨；一对气浮平面导轨，分别设在两凸起的轨道上；至少有一气浮磁浮双结构体侧轨，设在床身外侧的立面侧轨上；所述的测头架包括有一测头架基体，测头架基体通过支架与测量仪的拖车刚性连接；在测头架基体的上方设置可实现轴向位移的轴向移动板及径向位移的径向导向板；一弹性机构体，通过轴向弹性元件和径向弹性元件实现与径向导向板的连接；设有一组同向的联动测头，至少包括有带动测头和测量测头；所述的带动测头尾端固定在测头架基体上，头端置入被测件的滚道内；测量测头固定在弹性机构体的内侧底板上；所述尾架上开设V型阴导轨槽，所述的顶尖套带有V型阳导轨，该顶尖套的V型阳导轨通过一对压板的压紧而固定卧于V型阴导轨槽内；在床身中间区域的导轨上还置有若干组用于支撑被测丝杠的浮动支撑，所述浮动支撑高度可升降；所述的被测丝杠由主轴箱与尾架内侧的双顶尖及上述的若干组浮动支撑定位。