[实用新型]掩膜板承载台

摘要

本实用新型公开了一种掩膜板承载台，包括承载机构和限位机构，所述承载机构包括承载板、固定板、连接轴、第一螺钉和弹性元件，承载板位于固定板正上方，连接轴安装在固定板上，承载板通过第一螺钉安装在连接轴上端，所述弹性元件套于连接轴外并抵触在承载板与所述固定板之间；所述限位机构包括第二螺钉、通孔螺柱和锁紧螺母，固定板上设有与通孔螺柱相配合的螺纹孔，所述通孔螺柱安装在螺纹孔内并将锁紧螺母固定在螺纹孔的底部，所述第二螺钉依次穿过承载板和通孔螺柱的通孔并与锁紧螺母螺纹连接。与现有技术相比，本实用新型增加了限位机构，该限位机构锁定了固定板和承载板之间的相对位置，保证了掩膜板承载台的结构的稳定性和生产的精度。

主权项

一种掩膜板承载台，其特征在于：包括承载机构和限位机构，所述承载机构包括承载板、固定板、连接轴、第一螺钉和弹性元件，所述承载板位于所述固定板正上方，所述连接轴固定安装在所述固定板上，所述第一螺钉穿过所述承载板并安装在所述连接轴的上端，所述弹性元件套于所述连接轴外并抵触在所述承载板与所述固定板之间；所述限位机构包括第二螺钉、通孔螺柱和锁紧螺母，所述固定板上设有与所述通孔螺柱相配合的螺纹孔，所述通孔螺柱安装在所述螺纹孔内并将所述锁紧螺母固定在所述螺纹孔的底部，所述第二螺钉依次穿过所述承载板和通孔螺柱的通孔并与所述锁紧螺母螺纹连接。