[实用新型]掩膜板承载台

权利要求书

1.一种掩膜板承载台，其特征在于：包括承载机构和限位机构，所述承载机构包括承载板、固定板、连接轴、第一螺钉和弹性元件，所述承载板位于所述固定板正上方，所述连接轴固定安装在所述固定板上，所述第一螺钉穿过所述承载板并安装在所述连接轴的上端，所述弹性元件套于所述连接轴外并抵触在所述承载板与所述固定板之间；所述限位机构包括第二螺钉、通孔螺柱和锁紧螺母，所述固定板上设有与所述通孔螺柱相配合的螺纹孔，所述通孔螺柱安装在所述螺纹孔内并将所述锁紧螺母固定在所述螺纹孔的底部，所述第二螺钉依次穿过所述承载板和通孔螺柱的通孔并与所述锁紧螺母螺纹连接。

2.如权利要求1所述的掩膜板承载台，其特征在于：所述承载机构还包括滚珠行程衬套，所述滚珠行程衬套内嵌于固定板上且所述滚珠行程衬套套接在所述连接轴外。

3.如权利要求1所述的掩膜板承载台，其特征在于：承载板上开设有上凹槽，所述固定板上开设有下凹槽，所述上凹槽与所述下凹槽相对，所述弹性元件的两端分别抵触在所述上凹槽和下凹槽内。

4.如权利要求1所述的掩膜板承载台，其特征在于：所述连接轴的下端伸出所述固定板的下表面，且所述连接轴的下端具有外螺纹，所述承载机构还包括第一螺母，所述第一螺母与所述外螺纹相配合并将所述连接轴固定在所述固定板上。

5.如权利要求4所述的掩膜板承载台，其特征在于：所述第一螺母上外表面至内螺纹面钻有贯穿的螺孔，限位螺钉穿过所述螺孔并抵于所述连接轴的下端的外螺纹上。

6.如权利要求1所述的掩膜板承载台，其特征在于：所述固定板的下表面向外延伸形成支撑柱。

7.如权利要求1所述的掩膜板承载台，其特征在于：所述锁紧螺母为尼龙锁紧螺母。