[实用新型]带对准标记的掩模版有效
| 申请号： | 201020564807.5 | 申请日： | 2010-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201897692U | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 田彬;顾一鸣 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;G03F1/14 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种对准标记，该对准标记包括两平行的横线及两平行的竖线，所述两平行的横线与两平行的竖线组成四个角未封闭的正方形或长方形结构，由于任意一个角都包括一条横线及一条竖线，使得机台可利用任意一个角寻找固定点，提高了机台的效率；同时本实用新型还公开了一种带对准标记的掩模版，所述掩模版的中间区域均匀地设置有对准标记，从而可有效地计算实际掩模版与设计的版图之间的整体对准偏差，以及实际工艺中两关键层掩模版之间的相对对准偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 模版 | ||
【主权项】：
一种带对准标记的掩模版，其中，所述掩模版包括边缘区域及中间区域，所述中间区域具有电路所需的图案，所述图案之间具有空白区域，其特征在于，所述掩模版的中间区域具有多个由两平行的横线及两平行的竖线组成四个角未封闭的正方形或长方形结构对准标记，且均匀地分布在所述中间区域内。
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