[实用新型]结型场效应晶体管结构无效
申请号: | 201020242737.1 | 申请日: | 2010-06-30 |
公开(公告)号: | CN201708157U | 公开(公告)日: | 2011-01-12 |
发明(设计)人: | 余荣伟 | 申请(专利权)人: | 四川和芯微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/808 | 分类号: | H01L29/808;H01L21/337 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610041 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种结型场效应晶体管结构,其包括一栅极、一源极、一漏极及一衬底,所述栅极包括一多晶硅层及一P注入层,所述源极包括一N注入层、一N阱层及一深注入N阱层,所述漏极包括所述N注入层、所述N阱层及所述深注入N阱层,一衬底连接端通过所述P注入层、一P阱层、一深注入P阱层及一P型埋层连接所述衬底。该结构在现有工艺上无须增加任何掩摸步骤即可制作出来,且该结构具有耐高压特性的优点,不但满足了实际应用中的要求,而且结构紧凑,工艺兼容。 | ||
搜索关键词: | 场效应 晶体管 结构 | ||
【主权项】:
一种结型场效应晶体管结构,其包括一栅极、一源极、一漏极及一衬底,其特征在于:所述栅极包括一多晶硅层及一P注入层,所述源极包括一N注入层、一N阱层及一深注入N阱层,所述漏极包括所述N注入层、所述N阱层及所述深注入N阱层,一衬底连接端通过所述P注入层、一P阱层、一深注入P阱层及一P型埋层连接所述衬底。
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