[实用新型]高真空玻璃油扩散泵无效

专利信息
申请号: 201020219922.9 申请日: 2010-06-08
公开(公告)号: CN201723511U 公开(公告)日: 2011-01-26
发明(设计)人: 邹仲秋 申请(专利权)人: 上海易玺电子科技有限公司;上海嘉定泰和玻璃厂
主分类号: F04F9/02 分类号: F04F9/02
代理公司: 上海集信知识产权代理有限公司 31254 代理人: 周成
地址: 201700 上海市青浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种高真空玻璃油扩散泵,该泵包括主泵体,主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管,主泵体内设有输油管,输油管上从上至下设有四级喷嘴,该泵还包括一副泵体,连接设于抽气管另一端,并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴,副泵体的另一端设有抽气口。通过副泵体与主泵体的喷嘴共同作用,能够将油蒸汽更加均匀的扩散到整个泵体及管路内,从而能够有效提高系统的抽真空度,完全满足各类高真空产品的生产工艺需求。
搜索关键词: 真空 玻璃 扩散
【主权项】:
一种高真空玻璃油扩散泵,包括主泵体,主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管,主泵体内设有输油管,输油管上从上至下设有四级喷嘴,其特征在于:该泵还包括一副泵体,连接设于抽气管另一端,并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴,副泵体的另一端设有抽气口。
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