[实用新型]一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构

摘要

一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构，包括真空镀膜机箱体、靶门、连杆、第一油缸、第二油缸，所述真空镀膜机箱体一侧通过第一铰轴铰装在所述连杆上，所述靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述第一油缸两端分别铰装在所述靶门的上端面及所述连杆上；所述第二油缸的两端分别铰装在所述真空镀膜机箱体上及所述连杆上；所述第一铰轴、第五铰轴、第六铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构；所述第二铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成另一个三连杆机构。本实用新型结构简单、加工制造容易、操作方便、不会造成真空镀膜环境污染，可实现工业化生产，适于与各种、型号的真空镀膜箱配套使用。

主权项

一种卧式真空镀膜机靶门翻转机构，包括真空镀膜机箱体、靶门、连杆、第一油缸、第二油缸，其特征在于：所述真空镀膜机箱体一侧通过第一铰轴铰装在所述连杆上，所述靶门的一侧通过第二铰轴铰装在所述连杆上；所述第一油缸的一端通过第三铰轴铰装在所述靶门的上端面，所述第一油缸的另一端通过第四铰轴铰装在所述连杆上；所述第二油缸的一端通过第五铰轴铰装在所述真空镀膜机箱体上，所述第二油缸的另一端通过第六铰轴铰装在所述连杆上；所述第一铰轴、第五铰轴、第六铰轴的轴心连线构成一个三连杆机构；所述第二铰轴、第三铰轴、第四铰轴的轴心连线构成另一个三连杆机构。