[实用新型]用于物理气相沉积设备的报警装置有效
| 申请号： | 201020161728.X | 申请日： | 2010-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN201678728U | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李广宁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G08B21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于物理气相沉积设备的报警装置，包括：控制器、报警器、工作电源和供电电池，所控制器输入端与工作电源连接于第一节点，所述控制器输出端与所述供电电池连接于第二节点，所述控制器驱动端与报警器连接于第三节点，所述第二节点和第三节点之间接有转换器。保证了既使物理气相沉积的设备发生跳电或者由于其他原因导致设备没有供电，仍能警告给操作人员，避免长时间无人处理晶圆，导致晶圆表面氧化，使得晶圆导通层电阻发生变化，严重情况下甚至会造成晶圆报废。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物理 沉积 设备 报警装置 | ||
【主权项】：
一种用于物理气相沉积设备的报警装置，所述报警装置包括：控制器、报警器、工作电源和供电电池，所控制器输入端与工作电源连接于第一节点，所述控制器输出端与所述供电电池连接于第二节点，所述控制器驱动端与报警器连接于第三节点，所述第二节点和第三节点之间接有转换器。
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