[实用新型]快换式硅片镀膜对称挂钩组件

摘要

本实用新型公开了一种快换式硅片镀膜对称挂钩组件，它包括双面挂钩和垫板，在两扎带顶端设有压迫凸台，在其外侧等高度地设有折弯槽，折弯槽的开设位置要求为：当压迫凸台向内侧边折弯90°后，内侧边到定位槽底边的距离等于两个垫板厚度与纵向杆厚度之和；所述垫板呈“工”字形，在其两侧开有扎带槽，双面挂钩和垫板配套使用，双面挂钩通过两块垫板固定在纵向杆上，两扎带在收紧、拆除过程中都不会直接作用于纵向杆，折弯槽和压迫凸台的设置，既能便于双面挂钩的快速收紧与拆除，又不会对硅片承载框架产生损伤，还能降低硅片背面沉积氮化硅层的几率。

主权项

一种快换式硅片镀膜对称挂钩组件，其特征是，它包括双面挂钩(2)和垫板(5)，所述双面挂钩(2)由托钩(21)、钩身(22)、定位槽(23)、扎带(24)、压迫凸台(25)和折弯槽(26)组成，托钩(21)设置在钩身(22)底部的两侧，定位槽(23)位于钩身(22)的上方，且处于两根扎带(24)之间，压迫凸台(25)设置在扎带(24)的顶端，在两扎带(24)的外侧等高度地设有折弯槽(26)，折弯槽(26)的开设位置要求是：当压迫凸台(25)沿折弯槽(26)向内侧边(27)折弯90°后，内侧边(27)到定位槽(23)底边(28)的距离等于两个垫板(5)厚度与纵向杆(31)厚度之和；所述垫板(5)呈“工”字形，在垫板(5)两侧设有扎带槽(51)，扎带槽(51)的宽度与扎带(24)的厚度相当，两扎带槽(51)槽底(52)之间的距离与两扎带(24)内侧边(27)之间的距离相当，托钩(21)的顶尖与纵向杆(31)底边的距离小于或等于硅片(4)的厚度。