[实用新型]微纳光学元件光学参数测量装置无效
| 申请号： | 201020104673.9 | 申请日： | 2010-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN201594033U | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 李建龙;董春美 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 成都科海专利事务有限责任公司 51202 | 代理人： | 吕建平 |
| 地址： | 610207 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微纳光学元件光学参数测量装置，主要包括测量光源，将光源发出的单色光予以调制的偏振片，安放待测光学元件的安放器和比较探测器，安放器设置在使待测光学元件位于偏振片与比较探测器光路之间，所述比较探测器主要由光敏探测接收器、I/D转换器和计算机组成，I/D转换器将光敏探测接收器探测接收到的经由光学元件反射和透射的光信息转化为数字信息，输入计算机进行数字信息优化计算，得出待测光学元件优化光学参数。本实用新型能够克服微纳光学元件本身制造误差对测量精度的影响，可实现对微纳光学元件光学参数高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 参数 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种微纳光学元件光学参数测量装置，其特征在于主要包括测量光源，将光源发出的单色光予以调制的偏振片，安放待测光学元件的安放器和比较探测器，安放器设置在使待测光学元件位于偏振片与比较探测器光路之间，所述比较探测器主要由光敏探测接收器、I/D转换器和计算机组成，I/D转换器将光敏探测接收器探测接收到的经由光学元件反射和透射的光信息转化为数字信息，输入计算机进行数字信息优化计算，得出待测光学元件优化光学参数，构成比较探测器的光敏探测接受器至少为两个，设置在能同时探测接收经由光学元件反射和透射光信息的位置
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