[发明专利]时分复用微机电系统块状流体传感器及其工作方法无效
| 申请号： | 201010615928.2 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102147420A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 牟诗城;高鹏;徐超;吴元庆;屈怀泊 | 申请（专利权）人： | 国家纳米技术与工程研究院 |
| 主分类号： | G01P5/10 | 分类号： | G01P5/10;G01F25/00;G01K17/10;G01N9/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300457 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种时分复用微机电系统块状流体传感器，其特征在于它由温度传感器、微加热器、加热器控制器、处理器、多孔硅层、衬底及掩埋层构成；所说的温度传感器与微加热器相邻；所说的加热器控制器与微加热器连接，并提供加热能量作为给微加热器的电脉冲；所说的处理器置于流体中接收流速的输入量直接确定流速。工作方法：给加热器提供加热能量测量延时，通过温度传感器和加热器的相关温度变化量确定流速；通过应用锁相放大技术测量相外相内比来确定相位移并根据相位移确定流速。本发明块状流体传感器通过考虑流速测量中的温度，压力和工作环境中成份变化，有效且方便的校准流速测量值，得到足够的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 时分 微机 系统 块状 流体 传感器 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
一种时分复用微机电系统块状流体传感器，其特征在于它由温度传感器、微加热器、加热器控制器、处理器、多孔硅层、衬底及掩埋层构成；所说的温度传感器与微加热器相邻；所说的加热器控制器与微加热器连接，并提供加热能量作为给微加热器的电脉冲；所说的处理器置于流体中接收流速的输入量直接确定流速；所说的温度传感器为两个，分别置于流体的上游和下游；所说的温度传感器和微加热器制作在半导体衬底上。
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