[发明专利]一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚涂层的制备方法无效
| 申请号： | 201010613358.3 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102167626A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 刘晓兵;李刚 | 申请（专利权）人： | 光为绿色新能源有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 074000 河北省高*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚涂层的制备方法，首先将26％-49％的去离子水置于搅拌器内，加热到80-90℃后，将50％-70％的氮化硅倒入搅拌器内搅拌均匀；再将0.5-4％的聚乙烯醇PVA缓缓倒入搅拌器内，边搅拌边超声震荡不少于30分钟，充分搅拌，配置成悬浊液；将搅拌好的悬浊液刷涂到陶瓷坩埚的内壁上，涂层的厚度控制在200-400μm；再将刷涂好的陶瓷坩埚放入烘箱中进行烧结，8-10小时升温到1050-1100℃，保温2-4小时，随后随炉冷却至室温即可。本发明涂层和坩埚表面吸附力强，涂层不易起泡、脱落和剥落，减少了硅锭粘锅及裂锭现象，有效降低了坩埚中杂质对硅锭的污染，提高了硅锭的脱模效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 陶瓷 坩埚 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭用陶瓷坩埚涂层的制备方法，其特征在于：其包括以下步骤：(1)悬浊液的配置：A、以下原料按重量百分比计算，氮化硅50％‑70％，去离子水26％‑49％，聚乙烯醇PVA 0.5‑4％；B、将所述量的去离子水置于搅拌器内，加热到80‑90℃后，将所述量的聚乙烯醇PVA倒入搅拌器内，搅拌均匀；C、将搅拌器置于超声波仪内，将所述量的氮化硅缓缓倒入搅拌器内，边搅拌边超声震荡不少于30分钟，充分搅拌，配置成悬浊液；(2)将搅拌好的悬浊液刷涂到陶瓷坩埚的内壁上，涂层的厚度控制在200‑400μm；(3)将刷涂好的陶瓷坩埚放入烘箱中进行烧结，8‑10小时升温到1050‑1100℃，保温2‑4小时，随后随炉冷却至室温。
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