[发明专利]异质结双极晶体管性能测试方法及测试系统

摘要

本发明提出了一种异质结双极晶体管性能测试方法及测试系统，利用低频噪声测试方法，对其噪声功率谱中的产生-复合噪声特征进行分析，利用模型拟合的方法量化其BE结附近的陷阱中心；可对器件特性分析及工艺改善起指导作用。

主权项

1.一种异质结双极晶体管性能测试方法，其特征在于，包括如下步骤：对异质结双极晶体管器件的BE结进行低频噪声功率谱测试，筛选出具有产生-复合噪声特征的频谱；根据函数，对筛选出的产生-复合噪声特征频谱的噪声部分进行拟合，公式中为trap中心捕获-释放的时间，，为trap中心的频率，J_B为电流密度，a和k的取值范围为1.9~2.1，C为拟合常数；从频谱中找到拟合曲线上第一个的拐点的位置，其位置的横坐标值为的值，纵坐标值为的值，自变量取值为1，计算C的取值；根据C的取值，拟合其它的拐点，取得其它拐点的值，得到值的个数，根据值的个数对器件的性能做出评价，的数量越少，器件性能越好。