[发明专利]多层薄膜备制系统及其方法

摘要

本发明提供一种多层薄膜备制系统及其方法，包括第一环型回转单元、第二环型回转单元、第一旋转单元以及第二旋转单元，利用第一环型回转单元以及第二环型回转单元循环回转一个或是多个工件，该第一旋转单元以及该第二旋转单元传递工件并且快速旋转该工件，以冷却镀膜之后的工件或是对该工件执行涂布制程，以改善该镀膜步骤的弹性，提高制程效率。

主权项

一种多层薄膜备制系统，其特征在于，该多层薄膜备制系统包括：一第一环型回转单元，具有依序环型排列的若干第一型工作台，该些第一型工作台用以定位一工件，且该些第一型工作台对该工件具有可执行不相同的若干第一制程需求的功能；一第二环型回转单元，邻接于该第一环型回转单元，该第二环型回转单元具有依序环型排列的若干第二型工作台，且该些第二型工作台对该工件具有可执行不相同的若干第二制程需求的功能；一第一旋转单元，设置于该第一环型回转单元与该第二环型回转单元的周边之间，利用一第一夹持模块在该第一环型回转单元以及该第二环型回转单元之间互相传递该工件，以及利用该第一夹持模块以夹持位于该第一环型回转单元以及该第二环型回转单元的该工件至该第一旋转单元，以使该第一旋转单元执行该工件的一旋转制程；以及一第二旋转单元，设置于该第一环型回转单元与该第二环型回转单元的周边之间，且该第二旋转单元与该第一旋转单元相对设置，利用一第二夹持模块在该第一环型回转单元以及该第二环型回转单元之间互相传递该工件，以及利用该第二夹持模块以夹持位于该第一环型回转单元以及该第二环型回转单元的该工件至该第二旋转单元，以使该第二旋转单元执行该工件的另一旋转制程，以形成多层镀膜于该工件上。